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洁净层流罩的应用

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洁净层流罩的应用

2022-05-25

一、灵活性。因为层流罩是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,层流罩的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。

第二、可再利用性。从理论上讲,一时不用的层流罩设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。

第三、负压通风。这是层流罩的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。

第四、缩短建设周期。使用层流罩省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用层流罩成为了一种可能。

层流罩


第五、减少运行成本。虽然在选用层流罩时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。


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